江蘇省計(jì)量院一項(xiàng)助力半導(dǎo)體研發(fā)的科研項(xiàng)目獲批立項(xiàng)（江蘇省計(jì)量院院長）

本報(bào)訊 （鐘 云）日前，由江蘇省計(jì)量科學(xué)研究院（以下簡稱“江蘇省計(jì)量院”）申報(bào)的“高深寬比微結(jié)構(gòu)標(biāo)準(zhǔn)樣板的制備與溯源研究”獲批立項(xiàng)市場監(jiān)管總局科技計(jì)劃項(xiàng)目。

該科研項(xiàng)目致力于服務(wù)我國半導(dǎo)體領(lǐng)域內(nèi)自主研發(fā)的高深寬比微結(jié)構(gòu)無損測量儀器在全球市場的技術(shù)準(zhǔn)入，有助于破解半導(dǎo)體量測設(shè)備被國外廠商壟斷的不利局面，推動(dòng)我國實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主健康發(fā)展。

該項(xiàng)目面向半導(dǎo)體領(lǐng)域，重點(diǎn)針對MEMS器件、TSV封裝中高深寬比微結(jié)構(gòu)的測量，解決各類型測量儀器設(shè)備的線寬、深度參數(shù)尺度無法統(tǒng)一、精度無法溯源問題，開展高深寬比微結(jié)構(gòu)標(biāo)準(zhǔn)樣板的制備和溯源研究。

據(jù)江蘇省計(jì)量院相關(guān)人員介紹，高深寬比微結(jié)構(gòu)標(biāo)準(zhǔn)樣板將滿足技術(shù)方案各異、工作原理不同的高深寬比微溝槽、TSV高深寬比微孔槽無損測量儀器設(shè)備的精確校準(zhǔn)需求，實(shí)現(xiàn)對深度、線寬等關(guān)鍵尺寸的科學(xué)溯源。

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