芯片智能制造系統(tǒng)–EAP（ecm智能芯片）

Hello,大家好，今天跟大家聊聊EAP，

EAP(Equipment Automation Programming)，又叫設(shè)備自動(dòng)化程序。

EAP是MES（生產(chǎn)制造執(zhí)行系統(tǒng)）系統(tǒng)與機(jī)臺(tái)設(shè)備之間溝通的橋梁，EAP通過(guò)SECS國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)協(xié)議與機(jī)臺(tái)設(shè)備之間進(jìn)行數(shù)據(jù)通訊。

SECS是半導(dǎo)體設(shè)備的一種標(biāo)準(zhǔn)國(guó)際通信協(xié)議。EAP就是通過(guò)這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)協(xié)議與機(jī)臺(tái)設(shè)備之間通信，傳輸數(shù)據(jù)和發(fā)送指令，以此來(lái)遠(yuǎn)程控制設(shè)備，使其按照預(yù)先定義的流程進(jìn)行生產(chǎn)加工，同時(shí)進(jìn)行機(jī)臺(tái)設(shè)備狀態(tài)的監(jiān)控，實(shí)現(xiàn)設(shè)備運(yùn)行的自動(dòng)化。

EAP程序?qū)崿F(xiàn)了對(duì)FAB內(nèi)機(jī)臺(tái)設(shè)備的實(shí)時(shí)監(jiān)控，是FAB自動(dòng)化重要的控制系統(tǒng)。EAP程序與FAB中的機(jī)臺(tái)設(shè)備緊密相關(guān)，EAP程序的設(shè)計(jì)與開(kāi)發(fā)必須與生產(chǎn)線(xiàn)實(shí)際用的機(jī)臺(tái)相匹配，按照生產(chǎn)流程的需求，區(qū)滿(mǎn)足控制機(jī)臺(tái)生產(chǎn)的目的。

▌EAP是CIM（Computer Integrated Manufacturing/計(jì)算機(jī)集成制造）解決方案中最底層的子系統(tǒng)之一，也是FAB中最重要的系統(tǒng)之一。FAB生產(chǎn)過(guò)程中，生產(chǎn)數(shù)據(jù)和機(jī)臺(tái)狀態(tài)數(shù)據(jù)都是通過(guò)EAP系統(tǒng)收集，然后傳送給MES和相關(guān)的系統(tǒng)，MES再通過(guò)這些數(shù)據(jù)對(duì)產(chǎn)品和設(shè)備事件進(jìn)行跟蹤和監(jiān)控。如果沒(méi)有EAP程序，F(xiàn)AB中的CIM也就談不上是生產(chǎn)的自動(dòng)化。

▌EAP可以減少人為失誤，主要體現(xiàn)在以下：

1. 避免帳料不符
2. 避免跑錯(cuò)批次
3. 避免選錯(cuò)配方
4. 檢查配方參數(shù)

▌EAP可以提高生產(chǎn)效率，主要體現(xiàn)在以下：

1. 自動(dòng)數(shù)據(jù)采集
2. 自動(dòng)系統(tǒng)過(guò)賬
3. 自動(dòng)獲取物料信息
4. 自動(dòng)選擇配方
5. 自動(dòng)物料載入載出
6. 自動(dòng)數(shù)據(jù)上傳

▌EAP可以改善產(chǎn)品良率，主要體現(xiàn)在以下：

1. 異常時(shí)自動(dòng)將Lot進(jìn)行Hold
2. 異常時(shí)自動(dòng)將機(jī)臺(tái)Hold，或改變機(jī)臺(tái)狀態(tài)
3. 調(diào)整工藝參數(shù)

▌EAP一般和MES之間交互，然后通過(guò)通訊協(xié)議與機(jī)臺(tái)設(shè)備進(jìn)行交互，示意圖如下所示：

備注：MES（Manufacturing Execution System/生產(chǎn)制造執(zhí)行系統(tǒng)）

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